在真空泵的使用過程中，如果發(fā)現(xiàn)泄漏，首先要鑒別：泄漏的部位是真空泵還是管道，因為兩者采取的措施不同。檢測真空泵的方法如下：1 .將真空泵與其管道分開，用真空表直接測量真空泵的入口。如果泵的真空度達到使用標準，就排除了泵泄漏的可能性；2.管道檢查的方法：將管道或某一段管道取下，將一端連接到氣密泵上，用真空計測量另一端。通過這種方法，可以識別泄漏點；3.金屬真空系統(tǒng)中容易漏氣的部位有：焊縫的啟閉部位、兩條焊縫的相交處、波紋管的焊接部位、管接頭的焊縫、受運動影響的釬焊焊縫。如果法蘭或動態(tài)密封在安裝前經過仔細清潔和正確組裝，它將不會輕易泄漏。金屬陶瓷、金屬玻璃密封件，例如引出電極、測量管的高壓引線、引腳、管帽等。受冷熱沖擊影響的焊縫。